Ultraviolet antireflective porous nanoscale periodic hole array of 4H-SiC by Photon-Enhanced Metal-assisted chemical etching

蚀刻(微加工) 紫外线 材料科学 纳米尺度 各向同性腐蚀 干法蚀刻 紫外线 光电子学 碳化硅 等离子体刻蚀 纳米技术 多孔性 反应离子刻蚀 复合材料 图层(电子)
作者
Yikai Liao,Sangho Shin,Munho Kim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:581: 152387-152387 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2021.152387
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