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 In situ and real-time optical study of passive chemical etching of porous silicon and its impact on the fabrication of thin layers and multilayers 多孔硅被动化学刻蚀及其对薄层和多层制备影响的原位和实时光学研究
相关领域
制作
多孔硅
材料科学
薄脆饼
蚀刻（微加工）
钝化
硅
多孔性
各向同性腐蚀
光电子学
纳米技术
薄膜
图层（电子）
复合材料
医学
替代医学
病理
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| 其它 |
期刊：Journal of Applied Physics 作者：Héctor F. Lara-Alfaro; Jacob Barranco-Cisneros; Ángel A. Torres-Rosales; O. Del Pozo-Zamudio; J. Solís-Macías; et al 出版日期：2023-08-28 |
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Yiqing
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