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High channel mobility of 3C-SiC n-MOSFETs with gate stacks formed at low temperature—the importance of Coulomb scattering suppression 低温形成栅极堆叠的3C-SiC N-MOSFET的高沟道迁移率——库仑散射抑制的重要性
相关领域
材料科学
光电子学
MOSFET
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散射
堆栈(抽象数据类型)
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期刊:Applied Physics Express 作者:Keisuke Yamamoto; Dong Wang; Hiroshi Nakashima; Shigeomi Hishiki; Hiroki Uratani; et al 出版日期:2022-06-13 |
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