| 标题 |
Design and Performance Evaluation of a Deep Ultraviolet LED-Based Ozone Sensor for Semiconductor Industry Applications 相关领域
紫外线
臭氧
半导体
光电子学
半导体工业
材料科学
工程类
电气工程
计算机科学
工程物理
纳米技术
电子工程
制造工程
物理
气象学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Micromachines 作者:Maosen Xu; Xin Tian; Yuzhe Lin; Yan Xu; Jifang Tao 出版日期:2024-03-30 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|