发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Fabrication Process of Character Projection Mask for EB Lithography
电子束光刻用字符投影掩模的制作工艺
相关领域
平版印刷术 光学 光圈（计算机存储器） 材料科学 电子束光刻 薄脆饼 制作 下一代光刻 X射线光刻 基质（水族馆） 曲率半径 模版印刷 抵抗 光电子学 曲率 纳米技术 物理 图层（电子） 几何学 声学 平均曲率 病理 数学 地质学 海洋学 流量平均曲率 替代医学 医学
网址
https://doi.org/10.1143/jjap.35.6415
DOI
10.1143/jjap.35.6415 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Jun Takamatsu; Toru Koike; Yoshiyuki Kato Yoshiyuki Kato; H. Sunaoshi; Kiyoshi Hattori; et al
出版日期：1996-12-01
求助人
狂野雁丝 在 2025-12-15 19:01:30 发布自广东，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Fabrication of sub-10-nm Au–Pd structures using 30 keV electron beam lithography and lift-off
  2. Wafer stage assembly for ion projection lithography
  3. Fabrication of x-ray masks using evaporated electron sensitive layers for back patterning of membran...
  4. Three Dimensional Nanoimprint Lithography Using Inorganic Electron Beam Resist
  5. Fabrication Process of Character Projection Mask for EB Lithography
  6. Simulation of resist development on wafer topography in x-ray lithography
  7. Step-and-Repeat X-ray/Photo Hybrid Lithography for 0.3 μm Mos Devices
  8. Resistless electron beam lithography technique for the fabrication of x-ray masks
  9. Charged Particle Lithography
  10. Study of SiO2Thin Film Patterning by Low Energy Electron Beam Lithography Using Microcolumns
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1小时前

    科研通AI6 科研通AI6 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 JJAP.35.6415.pdf (501.53 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:01:33 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:01:31 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    19:01:30 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    狂野雁丝 狂野雁丝 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
宁幼萱发布了新的文献求助10
1秒前
莘莘完成签到，获得积分10
1秒前
瑞祯发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
烦烦完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
林登万发布了新的文献求助10
4秒前
hh发布了新的文献求助10
4秒前
顾矜的应助被ily.采纳，获得10
4秒前
科研通AI6的应助被悦耳的襄采纳，获得10
4秒前
5秒前
传奇3的应助被ff采纳，获得10
5秒前
5秒前
5秒前
才不是笨蛋完成签到，获得积分10
6秒前
无极微光的应助被机灵魂幽采纳，获得10
6秒前
友桃完成签到，获得积分20
7秒前
Hardy00发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
搜集达人的应助被小羊咩咩采纳，获得10
8秒前
123发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
9秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
9秒前
科目三的应助被黑熊安巴尼采纳，获得10
10秒前
隐形曼青的应助被vv采纳，获得10
10秒前
liya发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
10秒前
11秒前
11秒前
陈德茂发布了新的文献求助10
13秒前
13秒前
王韩发布了新的文献求助10
13秒前
衣衣衣完成签到 ，获得积分10
13秒前
huqin完成签到 ，获得积分10
13秒前
13秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1001
Latent Class and Latent Transition Analysis: With Applications in the Social, Behavioral, and Health Sciences 500
On the application of advanced modeling tools to the SLB analysis in NuScale. Part I: TRACE/PARCS, TRACE/PANTHER and ATHLET/DYN3D 500
L-Arginine Encapsulated Mesoporous MCM-41 Nanoparticles: A Study on In Vitro Release as Well as Kinetics 500
Haematolymphoid Tumours (Part A and Part B, WHO Classification of Tumours, 5th Edition, Volume 11) 400
Virus-like particles empower RNAi for effective control of a Coleopteran pest 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5468569
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4571972
关于积分的说明 14333100
捐赠科研通 4498720
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2464680
邀请新用户注册赠送积分活动 1453311
关于科研通互助平台的介绍 1427914
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通