| 标题 |
 Dual-doped TMAH silicon etchant for microelectromechanical structures and systems applications 相关领域
硅
材料科学
蚀刻（微加工）
微电子机械系统
氢氧化铵
钝化
表面微加工
锌酸盐
兴奋剂
腐蚀坑密度
抛光
小丘
铝
化学工程
光电子学
制作
纳米技术
复合材料
冶金
无机化学
化学
锌
图层（电子）
替代医学
病理
工程类
医学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Makarand Paranjape; A. Pandy; S. Brida; L. M. Landsberger; Mojtaba Kahrizi; et al 出版日期：2000-03-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
浮游
小青椒
小杭76
Zx_1993
Criminology34
彭于彦祖
无敌霸王花
wlscj
eric888
那时花开
pcr163
子车茗
殷勤的紫槐
Hilda007
8R60d8
风吹麦田
非而者厚
star
诸葛带你做分析_yorfir
MchemG
pluto
遇上就这样吧
Tourist
changping
皖公网安备34019202002308
