The fabrication of suspended micromechanical structures from bulk 6H-SiC using an ICP-RIE system

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标题	The fabrication of suspended micromechanical structures from bulk 6H-SiC using an ICP-RIE system
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/4/011
DOI	10.1088/0960-1317/16/4/011 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Tim K Hossain; Scott MacLaren; Jonathan M Engel; Chang Liu; Ilesanmi Adesida; Robert S Okojie 出版日期：2006
求助人	linkai 在 2026-02-09 15:16:21 发布自福建，悬赏 10 积分
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