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 A study of Raman and optical emission spectroscopy on microcrystalline silicon films deposited by VHF-PECVD 相关领域
等离子体增强化学气相沉积
拉曼光谱
材料科学
硅烷
微晶硅
分析化学（期刊）
结晶度
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化学气相沉积
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(2025-6-4)
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