Experimentally validated aluminum nitride based pressure, temperature and 3-axis acceleration sensors integrated on a single chip

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标题	Experimentally validated aluminum nitride based pressure, temperature and 3-axis acceleration sensors integrated on a single chip 集成在单芯片上的基于氮化铝的压力、温度和三轴加速度传感器的实验验证相关领域制作微电子机械系统材料科学加速度氮化物光电子学炸薯条铝氮化铝压力传感器星团（航天器）电子工程图层（电子）纳米技术计算机科学电气工程机械工程工程类复合材料物理病理经典力学程序设计语言替代医学医学
网址	https://doi.org/10.1109/memsys.2014.6765744
DOI	10.1109/memsys.2014.6765744 doi
其它	期刊：作者：Fabian T. Goericke; Kirti Ramesh Mansukhani; Kansho Yamamoto; Albert P. Pisano 出版日期：2014-01-01
求助人	快乐大炮在 2024-12-03 15:30:16 发布自中国，悬赏 10 积分
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