Low temperature atomic hydrogen annealing of InGaAs MOSFETs

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标题	Low temperature atomic hydrogen annealing of InGaAs MOSFETs InGaAs MOSFET的低温原子氢退火
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/acc08c
DOI	10.1088/1361-6641/acc08c doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Patrik Olausson; Rohit Yadav; Rainer Timm; Erik Lind 出版日期：2023
求助人	123 在 2025-02-17 17:01:11 发布自广西，悬赏 20 积分
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