Erosion Properties of Plasma Sprayed Ceramic Coatings Against Process Plasma in Semiconductor Production Equipment

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标题	Erosion Properties of Plasma Sprayed Ceramic Coatings Against Process Plasma in Semiconductor Production Equipment
网址	https://doi.org/10.31399/asm.cp.itsc2007p0943
DOI	10.31399/asm.cp.itsc2007p0943 doi
其它	期刊：Thermal spray 作者：J. Kitamura; H. Ibe; H. Mizuno; I. Aoki 出版日期：2007-05-14
求助人	aimme 在 2026-10-15 08:40:09 发布自江苏，悬赏 10 积分
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