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标题
High-speed and crack-free micromachining with GHz-burst femtosecond laser of fused silica and silicon carbide
网址
https://doi.org/10.1117/12.3093567
DOI
10.1117/12.3093567 doi
其它 期刊：Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXXI
作者：Federico Fabrizi; Roberta Ruffilli; Riccardo Conzatti; Mauro Bertagnolli; Martina Pagani; et al
出版日期：2026-03-05
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楠洋 在 2026-10-26 15:02:32 发布自广东，悬赏 20 积分
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