Surface observation of β-SiC substrate after negative bias treatment in diamond deposition

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标题	Surface observation of β-SiC substrate after negative bias treatment in diamond deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0169-4332(97)80146-8
DOI	10.1016/s0169-4332(97)80146-8 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Tadaaki Yamamoto; Tetsuro Maki; Takeshi Kobayashi 出版日期：1997-06-01
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