发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Numerical and experimental investigation of sequential diamond grit ploughing mechanism in CMP polishing pads
相关领域
材料科学 砂砾 机制（生物学） 抛光 钻石 化学机械平面化 复合材料 腐蚀 冶金 金刚石工具 磨损（机械） 犁 工程制图 计算机模拟
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.wear.2026.206919
DOI
10.1016/j.wear.2026.206919 doi
其它 期刊：Wear
作者：Lifei Zhang; Nanhao Zhao; Hui Ci; Ke Wang; Xinchun Lu
出版日期：2026-10-01
求助人
聪慧恶天 在 2026-11-03 09:53:46 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Simulation of Diamond Disc Conditioning in Chemical Mechanical Polishing: Effects of Conditioning Pa...
  2. Diamond Conditioner Microwear Effect on Pad Surface Height Distribution in Tungsten Chemical Mechani...
  3. Investigating the effect of diamond size and conditioning force on chemical mechanical planarization...
  4. Pad conditioning in chemical mechanical polishing: a conditioning density distribution model to pred...
  5. Pad conditioning density distribution in CMP process with diamond dresser
  6. Measurement and Analysis of Single-Pass Conditioning Furrows in CMP Pad Surfaces
  7. Characteristic of pad cut rate as conditioner structure
  8. Diamond structure-dependent pad and wafer polishing performance during chemical mechanical polishing
  9. Investigation of the Impact of Pad Surface Texture from Different Pad Conditioners on the CMP Perfor...
  10. Analysis on Pad Surface Roughness of Diamond Conditioning Process for CMP
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 5小时前，求助关闭

    聪慧恶天 聪慧恶天 Lv11 求助人 关闭了本次求助。

    说明 太慢了【积分已退回】

  • 5小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    09:53:49 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    09:53:46 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    09:53:46 已向机器人发送请求

  • 5小时前

    聪慧恶天 聪慧恶天 Lv11 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
sunsun发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
Akim的应助被fanfanqieqie采纳，获得10
刚刚
啵啵啵发布了新的文献求助10
1秒前
纯洁完成签到，获得积分10
1秒前
花羽发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
Sinsoladad完成签到，获得积分10
1秒前
无花果的应助被dxzdxj采纳，获得10
1秒前
ws发布了新的文献求助10
2秒前
科研通AI6.4的应助被布谷鸟采纳，获得10
2秒前
2秒前
ParkMoonJ的应助被元2333采纳，获得10
3秒前
Mercury发布了新的文献求助10
4秒前
庐州月完成签到 ，获得积分10
4秒前
aajhajkahna举报zyy的求助涉嫌违规
4秒前
伶俐白凝发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
Orange的应助被coyi采纳，获得10
4秒前
4秒前
ssc发布了新的文献求助10
4秒前
meng驳回了咩咩的应助
4秒前
5秒前
Sinsoladad发布了新的文献求助10
5秒前
vivian完成签到，获得积分10
5秒前
5秒前
5秒前
万能图书馆的应助被小杨采纳，获得10
5秒前
6秒前
6秒前
Ther发布了新的文献求助20
6秒前
7秒前
SciGPT的应助被invisight采纳，获得30
7秒前
dengyujie完成签到，获得积分20
7秒前
7秒前
李健的应助被小黄鸭采纳，获得10
8秒前
8秒前
8秒前
跳跃的语柔完成签到，获得积分10
8秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Energie-Contracting 1500
Klimaschutzrecht durch den Energiesektor im Mehrebenensystem – Ein Rechtsvergleich 1000
Sustainable Engineered Micro/Nanofibers and Hybrid Nanocomposites for Environmental Remediation 400
Ecotourism 400
Analytical Separation Science 300
Civilization and War 300
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 8070340
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9490766
关于积分的说明 21360923
捐赠科研通 7638466
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3398680
关于科研通互助平台的介绍 2528483
邀请新用户注册赠送积分活动 2436798
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通