Investigating the effect of diamond size and conditioning force on chemical mechanical planarization pad topography

作者
Ting Sun,L. Borucki,Yong Zhuang,Ara Philipossian
出处
期刊:Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
卷期号:87 (4): 553-559 被引量:48
标识
DOI:10.1016/j.mee.2009.08.007

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