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 Study of Mo 2 C Conductive Thin Films for Potential Applications in Miniaturized Integrated Circuit Interconnects 相关领域
材料科学
退火（玻璃）
钼
纳米尺度
热稳定性
光电子学
电介质
薄膜
集成电路
纳米技术
半导体
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电阻随机存取存储器
电阻率和电导率
碳化物
费米能级
热导率
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金属
电导率
电子工程
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期刊：Advanced Functional Materials 作者：ZhaoRui Sun; Xiuhua Chen; Chen Li; LiQiong Wang; Tengyu Wang; et al 出版日期：2026-09-14 |
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