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 Magnetron sputtering of ZnO thick film for high frequency focused ultrasonic transducer 高频聚焦超声换能器用ZnO厚膜的磁控溅射
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Jinming Ti; Junhong Li; Qingqing Fan; Wei Ren; Qing Yu; et al 出版日期：2022-10-28 |
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