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 Scaled indium oxide transistors fabricated using atomic layer deposition 原子层沉积法制备氧化铟晶体管
相关领域
材料科学
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期刊：Nature electronics 作者：Mengwei Si; Zehao Lin; Zhizhong Chen; Xing Sun; Haiyan Wang; et al 出版日期：2022-02-21 |
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