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标题
Scaled indium oxide transistors fabricated using atomic layer deposition
原子层沉积法制备氧化铟晶体管
相关领域
材料科学 跨导 晶体管 光电子学 原子层沉积 制作 阈值电压 氧化物 薄膜晶体管 图层(电子) 电压 电气工程 纳米技术 工程类 冶金 医学 替代医学 病理
网址
DOI
10.1038/s41928-022-00718-w doi
其它 期刊:Nature electronics
作者:Mengwei Si; Zehao Lin; Zhizhong Chen; Xing Sun; Haiyan Wang; et al
出版日期:2022-02-21
求助人
123 在 2025-07-30 14:33:22 发布自河南,悬赏 10 积分
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