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  Inductively Coupled Plasma Dry Etching of Silicon Deep Trenches with Extremely Vertical Smooth Sidewalls Used in Micro-Optical Gyroscopes 微光学陀螺用极垂直光滑侧壁硅深沟槽的电感耦合等离子体干法刻蚀
相关领域
沟槽
材料科学
深反应离子刻蚀
硅
咬边
基质（水族馆）
蚀刻（微加工）
小型化
图层（电子）
干法蚀刻
陀螺仪
光电子学
表面光洁度
反应离子刻蚀
纳米技术
复合材料
工程类
航空航天工程
海洋学
地质学
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| 其它 |
期刊：Micromachines 作者：Yuyu Zhang; Yu Wu; Quanquan Sun; Lifeng Shen; Jie Lan; et al 出版日期：2023-04-14 |
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