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 Rapid and Efficient Oxidation Process of SiC by <i>In Situ</i> Multiple RTP Steps SiC原位多RTP快速高效氧化工艺
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期刊：Materials science forum 作者：A. Constant; Nicolas Camara; Philippe Godignon; Maxime Berthou; Jean Camassel; et al 出版日期：2010-04-29 |
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