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标题
Influence of an Oxide Interlayer Dielectric (ILD) Capping Layeron the Thermal Stability of Ni Germanide for Nanoscale Ge MOSFETs
相关领域
锗 材料科学 纳米尺度 热稳定性 氧化物 光电子学 电介质 锗 纳米技术 冶金 化学工程 硅 工程类
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.55.1026
DOI
10.3938/jkps.55.1026 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：Yingying Zhang; In‐Shik Han; Shiguang Li; Soon-Yen Jung; Kee-Young Park; et al
出版日期：2009-09-15
求助人
pahnky 在 2025-10-13 19:21:23 发布自上海，悬赏 10 积分
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