标题 |
Deep Reactive Ion Etching of Polyimide for Microfluidic Applications
微流控应用中聚酰亚胺的深度反应离子刻蚀
相关领域
聚酰亚胺
反应离子刻蚀
材料科学
蚀刻(微加工)
微流控
深反应离子刻蚀
纳米技术
光电子学
图层(电子)
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DOI | |
其它 |
期刊:Journal of the Korean Physical Society 作者:T. N. T. Nguyen; Nae‐Eung Lee 出版日期:2007-09-15 |
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