Atomic layer deposition of MoNx thin films using a newly synthesized liquid Mo precursor

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标题	Atomic layer deposition of MoNx thin films using a newly synthesized liquid Mo precursor 用新合成的液态Mo前驱体原子层沉积Monx薄膜相关领域原子层沉积杂质薄膜结晶度钼材料科学氮化物图层（电子）沉积（地质）电阻率和电导率扩散阻挡层化学工程分析化学（期刊）纳米技术化学有机化学冶金复合材料生物电气工程工程类古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002154 AI链接 aip.orgdoi.org
DOI	10.1116/6.0002154 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Byunguk Kim; Sangmin Lee; Taesung Kang; Sung Hoon Kim; Sang Man Koo; et al 出版日期：2022-11-15
求助人	小兔在 2024-04-29 15:27:59 发布自江苏，悬赏 10 积分
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