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  A Review of Actuation and Sensing Mechanisms in MEMS-Based Sensor Devices 基于MEMS的传感器器件的驱动和传感机制综述
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期刊：Nanoscale Research Letters 作者：Abdullah Saleh Algamili; M. H. Md Khir; John S. Dennis; A. Y. Ahmed; Sami Sultan Alabsi; et al 出版日期：2021-01-26 |
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