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![]() 数值方法支持下的纳米压痕技术提取薄膜弹塑性材料特性
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期刊:Microelectronics Reliability 作者:Łukasz Dowhań; Artur Wymysłowski; P. Janus; M. Ekwińska; Olaf Wittler 出版日期:2011-05-13 |
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