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标题
Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium
钛深振荡磁控溅射(DOMS)中的发射光谱
相关领域
溅射 等离子体 原子物理学 溅射沉积 钛 光谱学 离子 腔磁控管 发射光谱 材料科学 振荡（细胞信号） 光发射 脉冲直流 化学 薄膜 光电子学 物理 谱线 纳米技术 有机化学 量子力学 天文 冶金 生物化学
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/acce42
DOI
10.35848/1347-4065/acce42 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Eisuke Yokoyama; Masaomi Sanekata; Nobuo Nishimiya; Masahide Tona; H. Yamamoto; et al
出版日期：2023-04-19
求助人
莫失莫颜 在 2025-07-10 07:26:38 发布，悬赏 10 积分
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