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Synthesis and properties of high density MgO films deposited by magnetron sputtering with ion extraction system

作者
Kyung H. Nam,Jeon G. Han
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2003-05-27 卷期号：174-175: 212-217 被引量：3
标识
DOI：10.1016/s0257-8972(03)00607-8
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