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Synthesis of high-density MgO films by a novel magnetron sputtering system
作者
Kyung H. Nam,
Min J. Jung,
Jeon G. Han,
T. Kopte,
U. Hartung,
C. Peters
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2004-02-28
卷期号：75 (1): 1-6
被引量：12
链接
fraunhofer.de
fraunhofer.de
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2003.12.125
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