SRIM Simulation of Ion Beam Irradiation Effects on Oxide Thin Films

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标题	SRIM Simulation of Ion Beam Irradiation Effects on Oxide Thin Films 离子束辐照氧化物薄膜效应的SRIM模拟相关领域材料科学辐照薄膜离子离子束氧化物修剪单层氧气光电子学纳米技术化学计算机科学核物理学物理冶金操作系统有机化学
网址	https://doi.org/10.4028/p-n82ivd
DOI	10.4028/p-n82ivd doi
其它	期刊：Solid State Phenomena 作者：Chris Wilfred S. Estrada; Jeffrey D. Tare 出版日期：2023-10-30
求助人	超级聪展在 2025-06-09 17:21:16 发布自江西，悬赏 30 积分
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