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标题
Plasma-Assisted Epitaxy of Piezoelectric ScxAl1-xN Films on Sapphire for Use in Harsh-Environment Microwave Acoustic Sensors
用于恶劣环境微波声传感器的蓝宝石上压电ScxAl1-xN薄膜的等离子体辅助外延
相关领域
纤锌矿晶体结构 外延 蓝宝石 材料科学 光电子学 分析化学（期刊） 压电 图层（电子） 复合材料 冶金 化学 锌 光学 色谱法 物理 激光器
网址
https://doi.org/10.1007/s11664-021-09425-2
AI链接 osti.gov osti.govdoi.org
DOI
10.1007/s11664-021-09425-2 doi
其它 期刊：Journal of Electronic Materials
作者：Morton Greenslit; M. Pereira da Cunha; Robert J. Lad
出版日期：2022-01-22
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