Design and Fabrication of Cross-Beam Integrated Microsphere Piezoelectric MEMS Vector Hydrophone

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标题	Design and Fabrication of Cross-Beam Integrated Microsphere Piezoelectric MEMS Vector Hydrophone 交叉梁集成微球压电MEMS矢量水听器的设计与制作相关领域制作压电微电子机械系统水听器微球梁（结构）材料科学声学工程类光电子学物理结构工程化学工程医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1109/jsen.2024.3375308
DOI	10.1109/jsen.2024.3375308 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Shuzheng Shi; Hailong Xu; Kai Kang; Hong Ma; Zhanying Wang; et al 出版日期：2024-03-18
求助人	香泛金卮在 2025-03-19 14:14:41 发布自山东，悬赏 10 积分
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