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标题
Investigation of EUV pellicle deflection and mechanical stress within EUV inner pod under vacuum activity
真空活动下极紫外薄膜偏转和极紫外内吊舱内机械应力的研究
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 偏转（物理） 光学 残余应力 材料科学 辐照度 放气 物理 复合材料 激光器 天文
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112474
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.112474 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Ching‐Te Kuo; Kuo-Kai Hung; Y. C. Lee; Bill Chiu
出版日期：2023-10-01
求助人
Little Mianmian 在 2025-07-01 10:50:31 发布自浙江，悬赏 10 积分
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