Automated (S)TEM metrology characterization of gate-all-around and 3D NAND devices

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标题	Automated (S)TEM metrology characterization of gate-all-around and 3D NAND devices
网址	https://doi.org/10.1117/12.2658795
DOI	10.1117/12.2658795 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII 作者：Michael Strauss; Chen Li; Chris Hakala; Xiaoting Gu; Antonio Mani; et al 出版日期：2023
求助人	天天在 2026-06-10 16:56:16 发布自中国，悬赏 20 积分
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