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Ultra-low resistance Au-free V/Al/Ti/TiN ohmic contacts for AlGaN/GaN HEMTs 相关领域
欧姆接触
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Valentin Garbe; Sarah Seidel; Alexander Schmid; U. W. Bläß; Elke Meißner; et al 出版日期:2023-11-13 |
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