High-sensitivity 4H-SiC piezoresistive pressure sensor for stable operation at 500 °C: chip manufacturing and high-temperature packaging - 科研通

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标题	High-sensitivity 4H-SiC piezoresistive pressure sensor for stable operation at 500 °C: chip manufacturing and high-temperature packaging
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s00542-026-060...
DOI	10.1007/s00542-026-06024-1 doi
其它	期刊：Microsystem Technologies 作者：Cheng Lei; Bo Li; Zhiqiang Li; Jiangang Yu; Pinggang Jia; et al 出版日期：2026-02-18
求助人	膘型大汉在 2026-05-19 16:29:58 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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