Spatial atomic layer deposition: a new revolution in ultra-fast production of conformal oxide-based optical coatings

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标题	Spatial atomic layer deposition: a new revolution in ultra-fast production of conformal oxide-based optical coatings
网址	https://doi.org/10.1117/12.3017093
DOI	10.1117/12.3017093 doi
其它	期刊：Advances in Optical Thin Films VIII 作者：John-Olof Rönn; Sauli Virtanen; Philipp Maydannik; Kalle Niiranen; Sami Sneck 出版日期：2024-06-18
求助人	Barry 在 2026-04-09 15:49:07 发布自中国，悬赏 20 积分
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