Computational fluid dynamics simulation of dual-showerhead configuration: Key to uniform large-scale chemical vapor deposition SiC coatings

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标题	Computational fluid dynamics simulation of dual-showerhead configuration: Key to uniform large-scale chemical vapor deposition SiC coatings
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004837
DOI	10.1116/6.0004837 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Rong Tu; Xin Liang; Qingfang Xu; Baifeng Ji; Qizhong Li; et al 出版日期：2025-10-27
求助人	逸剑风云决在 2026-09-20 10:25:36 发布自湖北，悬赏 10 积分
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