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标题
Impact of sputtering and redeposition on the morphological profile evolution during ion-beam etching of blazed gratings
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003745
DOI
10.1116/6.0003745 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Z. W. Liu; X. Li; Quan‐Zhi Zhang; Julian Schulze; Ruobing Zhang; et al
出版日期：2024-07-26
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wang0708 在 2026-07-10 15:04:03 发布自美国，悬赏 10 积分
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