VUV/O3 activated direct heterogeneous bonding towards high-performance LiNbO3-based optical devices

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标题	VUV/O3 activated direct heterogeneous bonding towards high-performance LiNbO3-based optical devices
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943321...
DOI	10.1016/j.apsusc.2019.143576 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jikai Xu; Chenxi Wang; Runbo Zhang; Ji Cheng; Ge Li; et al 出版日期：2019-08-03
求助人	JZCT 在 2026-06-17 15:46:39 发布自山东，悬赏 10 积分
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