The internal modified layer structure of silicon carbide induced by ultrafast laser and its application in stealth dicing

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标题	The internal modified layer structure of silicon carbide induced by ultrafast laser and its application in stealth dicing
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2024.05.006
DOI	10.1016/j.precisioneng.2024.05.006 doi
其它	期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Xiaozhu Xie; Tao Liu; Kaijun Lv; Yaoan Huang; Yajun Huang; et al 出版日期：2024-05-11
求助人	fan 在 2026-08-10 14:40:15 发布自河北，悬赏 10 积分
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