Study of the chemical stability of precursors used for ALD of lithium-containing films by structural and thermal analyses

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标题	Study of the chemical stability of precursors used for ALD of lithium-containing films by structural and thermal analyses
网址	https://doi.org/10.1038/s41529-026-00829-1
DOI	10.1038/s41529-026-00829-1 doi
其它	期刊：npj Materials Degradation 作者：Nicolas Massoni; Manon Letiche; Sylvain Poulet; Rodica Chiriac; François Toche; et al 出版日期：2026
求助人	kbkyvuy 在 2026-06-24 09:14:39 发布自山东，悬赏 10 积分
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