Low-k dielectric etch challenges at the 7 nm logic node and beyond: Continuous-wave versus quasiatomic layer plasma etching performance review

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标题	Low-k dielectric etch challenges at the 7 nm logic node and beyond: Continuous-wave versus quasiatomic layer plasma etching performance review
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/1.50794...
DOI	10.1116/1.5079410 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：Katie Lutker-Lee; Yen-Tien Lu; Qiaowei Lou; J. Kaminsky; Y. Kikuchi; et al 出版日期：2019-01-01
求助人	畅快邪欢在 2026-08-14 10:52:29 发布自广东，悬赏 10 积分
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