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 Epitaxial metals for interconnects beyond Cu 铜以外互连用外延金属
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Katayun Barmak; Sameer Ezzat; Ryan Gusley; Atharv Jog; Sit Kerdsongpanya; et al 出版日期：2020-04-13 |
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