Effects of parameters on the performance of amorphous IGZO thin films prepared by RF magnetron sputtering

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标题	Effects of parameters on the performance of amorphous IGZO thin films prepared by RF magnetron sputtering 参数对射频磁控溅射制备非晶IGZO薄膜性能的影响相关领域溅射材料科学无定形固体溅射沉积高功率脉冲磁控溅射光电子学退火（玻璃）薄膜表面粗糙度透射率复合材料纳米技术化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1007/s11801-014-4125-4
DOI	10.1007/s11801-014-4125-4 doi
其它	期刊：Optoelectronics Letters 作者：Jian-wen Niu; Ruixin Ma; Yuanyuan Wang; Shina Li; Shiyao Cheng; et al 出版日期：2014-08-29
求助人	啊鹏鹏在 2025-12-23 01:31:31 发布自广东，悬赏 10 积分
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