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Effects of parameters on the performance of amorphous IGZO thin films prepared by RF magnetron sputtering 参数对射频磁控溅射制备非晶IGZO薄膜性能的影响
相关领域
溅射
材料科学
无定形固体
溅射沉积
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化学
有机化学
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期刊:Optoelectronics Letters 作者:Jian-wen Niu; Ruixin Ma; Yuanyuan Wang; Shina Li; Shiyao Cheng; et al 出版日期:2014-08-29 |
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