Novel resonant pressure sensor based on piezoresistive detection and symmetrical in-plane mode vibration

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标题	Novel resonant pressure sensor based on piezoresistive detection and symmetrical in-plane mode vibration 相关领域材料科学压阻效应谐振器薄脆饼光电子学压力传感器音叉振膜（声学）微电子机械系统振动声学热力学物理
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-020-00207-0.pdf
DOI	10.1038/s41378-020-00207-0 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Xiangguang Han; Qi Mao; Libo Zhao; Xuejiao Li; Li Wang; et al 出版日期：2020-11-16
求助人	Arrebol 在 2025-11-20 14:51:38 发布自北京，悬赏 10 积分
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