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Novel resonant pressure sensor based on piezoresistive detection and symmetrical in-plane mode vibration
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物理
作者
Xiangguang Han,
Qi Mao,
Libo Zhao,
Xuejiao Li,
Li Wang,
Ping Yang,
Dejiang Lu,
Yonglu Wang,
Xin Yan,
Songli Wang,
Nan Zhu,
Zhuangde Jiang
出处
期刊：
Microsystems & Nanoengineering
[Springer Nature]
日期：2020-11-16
卷期号：6 (1): 95-95
被引量：52
链接
nature.com
nature.com
nih.gov
europepmc.org
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1038/s41378-020-00207-0
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