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Studies on Selective Deposition of SiO2 by Rapid Atomic Layer Deposition 快速原子层沉积法选择性沉积SiO2的研究
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期刊:2024 IEEE 17th International Conference on Solid-State & Integrated Circuit Technology (ICSICT) 作者:Sicong Shao; Jin Yan; Wang Li; Kun Cao; Rong Chen 出版日期:2024 |
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(2025-6-4)