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标题
Surface Corrosion Inhibition Effect and Action Mechanism Analysis of 5-Methyl-Benzotriazole on Cobalt-Based Copper Film Chemical Mechanical Polishing for GLSI
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/accd99
DOI
10.1149/2162-8777/accd99 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Han Yan; Xinhuan Niu; Fu Luo; Minghui Qu; Ni Zhan; et al
出版日期：2023
求助人
浪漫反派 在 2026-01-23 03:38:59 发布自上海，悬赏 10 积分
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