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A novel micromachined ultrasonic transducer based on single-crystal piezoelectric silicon carbide thin film 相关领域
材料科学
压电
PMUT公司
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超声波传感器
光电子学
电容式微机械超声换能器
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薄膜
传感器
压电加速度计
声学
振膜(声学)
硅
体微机械加工
微电子机械系统
振动
绝缘体上的硅
蚀刻(微加工)
宽禁带半导体
复合材料
压电马达
绝缘体(电)
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(2025-6-4)