ICP etching of GaN microstructures in a Cl2–Ar plasma with subnanometer-scale sidewall surface roughness

已完结

文献求助详情

标题	ICP etching of GaN microstructures in a Cl2–Ar plasma with subnanometer-scale sidewall surface roughness
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2022.106564 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Clint D. Frye; Catherine E. Reinhardt; Scott B. Donald; Lars F. Voss; Sara E. Harrison 出版日期：2022-02-18
求助人	LWK1995 在 2026-09-29 10:51:27 发布自广东，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 丘比特的应助被DA采纳，获得10

1秒前; onelastkiss发布了新的文献求助10

1秒前; 四季平安发布了新的文献求助10

1秒前; FashionBoy的应助被latata采纳，获得10

2秒前; 科研通AI2S的应助被xuguozhen采纳，获得10

2秒前; Yolo完成签到，获得积分10

2秒前; 希望天下0贩的0的应助被xiao采纳，获得10

2秒前; 瘦瘦的严青发布了新的文献求助10

3秒前; 科目三上传了应助文件

4秒前; Emily完成签到，获得积分10

4秒前; 迷人的绝悟发布了新的文献求助10

4秒前; 平常曼香发布了新的文献求助10

4秒前; 田様上传了应助文件

5秒前; 博士贤拿贝奖发布了新的文献求助30

5秒前; 绫小路发布了新的文献求助10

6秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

6秒前; moon完成签到，获得积分10

6秒前; 明亮难破完成签到，获得积分10

7秒前; arui完成签到，获得积分10

7秒前; fifi完成签到，获得积分10

8秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

9秒前; 传奇3上传了应助文件

9秒前; 吃吃吃啥啦完成签到，获得积分10

10秒前; Sapphire发布了新的文献求助10

10秒前; 霸气涑完成签到，获得积分10

10秒前; 冷静雨梅完成签到，获得积分10

12秒前; 结实白秋发布了新的文献求助10

12秒前; Lucas上传了应助文件

12秒前; 小二郎上传了应助文件

12秒前; Orange的应助被暴躁的碧空采纳，获得10

13秒前; ZZZYJ完成签到，获得积分10

13秒前; 橘子和柚子完成签到，获得积分10

13秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

13秒前; 塔莉娅发布了新的文献求助10

13秒前; 搜集达人上传了应助文件

14秒前; 长颈鹿完成签到，获得积分10

14秒前; ding的应助被四季平安采纳，获得10

14秒前; wanwuzhumu发布了新的文献求助10

14秒前; 星辰大海上传了应助文件

15秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

15秒前